Pyroelektrische Energiemessköpfe optimiert für 157 nm

Durch den integrierten Vakuumanschluss im Bereich der Sensorfläche und den Einsatz vakuumfester Komponenten empfehlen sich diese Messköpfe für den Einsatz im VUV, aber auch im Wellenlängenbereich bis ins IR bei der Notwendigkeit den Strahlengang zu evakuieren oder mit Inertgas zu betreiben.

Modelle Serie PEM VUV

Daten

Apertur

30 mm

Messbereich

1 mJ .. 2 J

max. Wiederholfrequenz

50 Hz

zulässige Energiedichte

300 mJ/cm²

max. mittlere Leistung

30 W

zulässige Leistungsdichte

30 MW/cm²

Genauigkeit

±5 %

Empfindlichkeit

1,5 .. 2,5 V/J

elektrischer Anschluss

BNC

Vakuumanschluss

KF 40 ND

Abmessungen Durchmesser x Länge (inkl. BNC- und Vakuumanschluß)

100 mm x 96 mm

Daten

Apertur

24mm

Messbereich

5 µJ .. 200 mJ

max. Wiederholfrequenz

300 Hz

zulässige Energiedichte

50 mJ/cm²

max. mittlere Leistung

5 W

zulässige Leistungsdichte

5 MW/cm²

Genauigkeit

±5 %

Empfindlichkeit

200 V/J

elektrischer Anschluss

BNC

Vakuumanschluss

KF 25 ND

Abmessungen Durchmesser x Länge (inkl. BNC- und Vakuumanschluss)

55 mm x 65 mm