Durch den integrierten Vakuumanschluss im Bereich der Sensorfläche und dem Einsatz vakuumfester Komponenten empfehlen sich diese Messköpfe für den Einsatz im VUV, aber auch im Wellenlängenbereich bis ins IR bei der Notwendigkeit den Strahlengang zu evakuieren oder mit Inertgas zu betreiben.
Serie PEM VUV
Pyroelektrische Energiemessköpfe optimiert für 157 nm
Modelle Serie PEM VUV
Daten
Apertur
30 mm
Messbereich
1 mJ .. 2 J
max. Wiederholfrequenz
50 Hz
zulässige Energiedichte
300 mJ/cm²
max. mittlere Leistung
30 W
zulässige Leistungsdichte
30 MW/cm²
Genauigkeit
±5 %
Empfindlichkeit
1,5 .. 2,5 V/J
elektrischer Anschluss
BNC
Vakuumanschluss
KF 40 ND
Abmessungen Durchmesser x Länge (inkl. BNC- und Vakuumanschluß)
100 mm x 96 mm
Daten
Apertur
24mm
Messbereich
5 µJ .. 200 mJ
max. Wiederholfrequenz
300 Hz
zulässige Energiedichte
50 mJ/cm²
max. mittlere Leistung
5 W
zulässige Leistungsdichte
5 MW/cm²
Genauigkeit
±5 %
Empfindlichkeit
200 V/J
elektrischer Anschluss
BNC
Vakuumanschluss
KF 25 ND
Abmessungen Durchmesser x Länge (inkl. BNC- und Vakuumanschluss)
55 mm x 65 mm
